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            技術文章
            閥門分配箱的設計特種氣體管道安裝公司
            點擊次數:1533 更新時間:2021-12-21 打印本頁面 返回

              閥門分配箱主要用于氣體分配,這里主要介紹下閥門分配箱的應用等相關知識。


              閥門分配箱(VMB)多用于特種氣體的輸送中。在半導體、光伏太陽能、IC芯片等生產領域,VMB廣泛的應用于諸如磷烷、硼、硅烷、硫化氫、硫化氫、乙烯等易燃易爆、毒腐性氣體的分配當中。


              近幾年來,智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子氣體市場需求量明顯增長,電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。據了解,我國在國產化方面取得可喜進展:國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳“有價無貨"時代也宣告結束,高純氯化氫已成功打開國內市場。所以,閥門分配系統的應用會越來越廣泛。


              特氣VMB應設計進氣管路隔離閥及壓力指示裝置;氣體之路應設有獨立的壓力控制調節閥、過濾器、過流開關;氣體的支路應設有獨立的出口隔離閥;氣體分支路應設置獨立的吹掃氣體裝置、輔助抽真空裝置等。


              惰性氣體方面,應設置進氣管路隔離閥及壓力指示裝置;氣體之路應設有獨立的壓力控制調節閥、過濾器;氣體支路應設有獨立出口隔離閥門。


              電子氣體,尤其是帶有危險性的特殊氣體,是發展集成電路、光電子、微電子,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中*的基礎性支撐源材料,它被稱為電子工業的“血液"和“糧食",它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

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